Một máy được gọi là mặt nạ Aligner được sử dụng để sắp xếp và tiếp xúc với các tấm wafer. Hình 2,1-1 lãm đặc điểm liên kết điển hình. Kích thước vật lý và hình học của mặt nạ được sử dụng để chế tạo được chi phối bởi các kỹ thuật đặc biệt được sử dụng bởi các mặt nạ Aligner để lộ wafer.
đang được dịch, vui lòng đợi..
