Khác hơn là phục vụ như là yếu tố chuyển đổi trong viễn thông, các ứng dụng trong hóa học/y sinh học đo lường và quét hệ thống laser cũng có thể được dự kiến với hội nhập này 3D MEMS gương, trong đó cho thấy tiềm năng tốt trong điều khoản của sự ổn định cơ học và độ tin cậy.
đang được dịch, vui lòng đợi..