Bảng tra cứu các cửa hàng điện áp dữ liệu và đáp các trọng lượng rẽ nước của MEMS nanopositioner. Những giá trị được lưu trữ đã thu được từ các dữ liệu được vẽ trong hình 7(a). Cho mỗi u chuyển nhập được xác định trước (trong μm), bảng tra cứu tạo ra một điện áp đầu ra Va do interpolating/extrapolating trong số các giá trị được lưu trữ. Các tín hiệu được tạo ra Va đã được cho ăn để một khuếch đại điện áp mà đã đạt được một 20.
đang được dịch, vui lòng đợi..