1.2 Độ chính xác và độ nhạy
tia X cường độ được đo bằng cách đếm các photon và có thể đạt được độ chính xác là
giới hạn bởi lỗi thống kê. Đối với yếu tố chính nó thường không phải là khó khăn để có được một độ chính xác
(được định nghĩa như 2σ) tốt hơn so với ± 1% (tương đối), nhưng độ chính xác phân tích tổng thể là thường
gần ± 2%, do các yếu tố khác như sự không chắc chắn trong các tác phẩm của các tiêu chuẩn
và các lỗi trong các phiên điều chỉnh khác nhau mà cần phải được áp dụng cho các dữ liệu thô.
Cũng như sản xuất dòng X-quang đặc trưng, các electron bắn phá cũng làm phát sinh
một quang phổ liên tục X-quang (mục 2.4), là giới hạn detachability các đỉnh núi nhỏ, do
sự hiện diện của 'nền'.
Sử dụng thủ tục thông thường, giới hạn phát hiện thường là khoảng 1000 ppm (theo trọng lượng) nhưng
có thể được giảm bằng cách sử dụng thời gian đếm dài
đang được dịch, vui lòng đợi..