Bộ cảm biến trọng lượng rẽ nước electrothermal đã được tích hợp trong một 2-DOF electrostatically actuated nanopositioner trên một chip SOI MEMS. Sân khấu, có chức năng như quét bàn, có diện tích 3 mm x 3 mm, và trọng lượng rẽ nước tối đa của 16 μm theo hướng x và y. Các electrothermalcảm biến đầu ra được đo bằng một mạch khuếch đại transimpedance, với sản lượng này được sử dụng như một thước đo của một bộ điều khiển trong một vòng lặp phản hồi.
đang được dịch, vui lòng đợi..