Electrothermal displacement sensors

Electrothermal displacement sensors were integrated in a 2-DOF electrostatically-actuated nanopositioner on a SOI MEMS chip. The stage, which functions as the scan table, has an area of 3mm × 3mm, and a maximum displacement of 16 μm in both the x and y directions. The electrothermal
sensor outputs are measured by a transimpedance amplifier circuit, with this output being utilized as a measurement by a controller in a feedback loop.

Kết quả (Việt) 1:

Bộ cảm biến trọng lượng rẽ nước electrothermal đã được tích hợp trong một 2-DOF electrostatically actuated nanopositioner trên một chip SOI MEMS. Sân khấu, có chức năng như quét bàn, có diện tích 3 mm x 3 mm, và trọng lượng rẽ nước tối đa của 16 μm theo hướng x và y. Các electrothermalcảm biến đầu ra được đo bằng một mạch khuếch đại transimpedance, với sản lượng này được sử dụng như một thước đo của một bộ điều khiển trong một vòng lặp phản hồi.

Kết quả (Việt) 2:

Cảm biến chuyển nhiệt điện đã được tích hợp trong một 2-DOF nanopositioner tĩnh điện-actuated trên một chip SOI MEMS. Các giai đoạn, trong đó có chức năng như bảng quét, có diện tích 3mm x 3mm, và một chuyển tối đa 16 mm ở cả hai hướng x và y. Các nhiệt điện
đầu ra cảm biến được đo bằng một mạch transimpedance khuếch đại, với sản lượng này được sử dụng như một phép đo bởi một bộ điều khiển trong một vòng lặp thông tin phản hồi.