CMM ISARA, một lược đồ đó được hiển thị trong hình 4, là một ví dụ về một công cụthiết kế giảm thiểu các Abbe lỗi trong ba chiều. Ba tia vuông góc 3interferometers qua tại một điểm phổ biến tại vị trí của thăm dò, và mẫu vật di chuyển,do đó đảm bảo tất cả các phép đo ba trục phù hợp với các trục thăm dò. Lưu ý rằng cácđộ chính xác CMM thiết kế thảo luận ở đây không có lỗi Abbe zero; thay vào đó họ giảm thiểutác dụng của Abbe bù đắp, nhưng sẽ luôn có một số đối tượng dời hình dư, ngay cả nếu điều này làchỉ đơn giản là do sự không chắc chắn trong các phương pháp được sử dụng để xác định các bù đắp.
đang được dịch, vui lòng đợi..
