10.6 Capacitive SensorsA silicon di

10.6 Capacitive Sensors
A silicon diaphragm can be used with another pressure-to-electric output conversion
process: in a capacitive sensor. Here, the diaphragm displacement modulates capacitance
with respect to the reference plate (backplate). This conversion is especially
effective for the low-pressure sensors. An entire sensor can be fabricated from a
solid piece of silicon, thus maximizing its operational stability. The diaphragm can
be designed to produce up to 25% capacitance change over the full range which
350 10 Pressure Sensors
Fig. 10.10. Central deflection of flat and
corrugated diaphragms of the same sizes
under the in-plate tensile stresses.

Kết quả (Việt) 1:

10.6 thiết bị cảm ứng capacitiveMàng silicon có thể được sử dụng với một chuyển đổi điện áp đầu raquá trình: trong một bộ cảm biến điện dung. Ở đây, trọng lượng rẽ nước màng modulates điện dungĐối với các tài liệu tham khảo tấm (backplate). Chuyển đổi này là đặc biệt làhiệu quả cho các bộ cảm biến áp suất thấp. Một cảm biến toàn bộ có thể được chế tạo từ mộtrắn miếng Silicon, do đó tối đa hóa sự ổn định hoạt động của nó. Cơ hoành có thểđược thiết kế để sản xuất lên đến 25% điện dung thay đổi trên toàn bộ phạm vi mà350 10 bộ cảm biến áp lựcHình 10.10. Trung tâm lệch phẳng vàsóng diaphragms của các kích thước tương tựdưới áp lực độ bền kéo trong mảng.

Kết quả (Việt) 2:

10,6 điện dung Cảm biến
Một màng silicon có thể được sử dụng với một chuyển đổi áp-to-điện đầu ra
quá trình: trong một cảm biến điện dung. Ở đây, sự dịch chuyển cơ hoành điều biến điện dung
đối với tấm đối (backplate) với. Chuyển đổi này đặc biệt
hiệu quả đối với các cảm biến áp suất thấp. Toàn bộ cảm biến có thể được chế tạo từ một
mảnh rắn silicon, do đó tối đa hóa sự ổn định hoạt động của nó. Các cơ hoành có thể
được thiết kế để sản xuất lên đến 25% thay đổi điện dung trên toàn bộ phạm vi mà
350 10 áp Cảm biến
hình. 10.10. Võng trung tâm của căn hộ và
màng ngăn sóng của các kích thước tương tự
dưới ứng suất kéo trong tấm.