Thường hai máy chủ khác nhau vật liệu đồng thời tiến hành bắn phá tại các mức độ khác nhau để thiết lập các đặc tính của các tài liệu sputtered. Bắn phá hai máy chủ này được gọi là cosputtering. Với một số tài liệu, tạo cung cấp lợi thế trong bay hơi trong máy chủ lưu trữ tài liệu tích hợp trên bề mặt lắng đọng
đang được dịch, vui lòng đợi..
