4. ConclusionWe proposed a new magn

4. Conclusion
We proposed a new magnetic field distribution in our
sputtering system to extend the plasma distribution on the
cathode surface. It is well-known that the conventional
racetrack-type magnetron sputter has only one zero
crossing point of the magnetic field perpendicular to the
cathode surface and the maximum erosion occurs at this
point. We modified the magnet geometry and obtained
multi zero-crossing points which results in a broader
plasma distribution than the conventional type device.
The electron distribution especially just in front of the
cathode surface became broad by the modified magnetic
field. Moreover additional electron striation occurred
beside the main density distributions. This resulted in the
broadened ionization in front of the cathode surface and
the broader ion flux toward the cathode. We confirmed
this by comparing the erosion profiles of the experiment
and simulation. The modified magnetic-field distribution
results in the broadened plasma and erosion profiles. The
modified magnetic field was effective to increase the
usage of the cathode material.

Kết quả (Việt) 1:

4. kết luậnChúng tôi đề xuất một phân phối từ trường mới ở của chúng tôitạo các hệ thống mở rộng phân phối plasma trên cácbề mặt để làm cực âm. Nó là nổi tiếng mà các thông thườngđường đua-loại từ trường sputter có chỉ một zerovượt qua điểm của trường vuông góc với cácbề mặt để làm cực âm và xói mòn tối đa xảy ra lúc nàyđiểm. Chúng tôi sửa đổi hình học Nam châm và thu đượcđa số không qua chỉ mà kết quả trong một rộng hơnPlasma các phân phối hơn thiết bị kiểu thông thường.Phân phối điện tử đặc biệt là chỉ ở phía trước của cácbề mặt để làm cực âm đã trở thành rộng bởi các lần từlĩnh vực. Hơn nữa điện tử bổ sung striation xảy rabên cạnh các bản phân phối chính mật độ. Điều này dẫn đến cácmở rộng ra các ion hóa ở phía trước của bề mặt để làm cực âm vàthông lượng ion rộng hơn về hướng cathode. Chúng tôi xác nhậnĐiều này bằng cách so sánh các cấu hình xói mòn của thử nghiệmvà mô phỏng. Phân phối từ lĩnh vực lầnkết quả mở rộng trong huyết tương và xói mòn. CácSửa đổi từ trường là hiệu quả để tăng cácsử dụng các vật liệu để làm cực âm.

Kết quả (Việt) 2:

4. Kết luận
Chúng tôi đã đề xuất một phân phối từ trường mới của chúng tôi trong
hệ thống phương pháp phún xạ để mở rộng phân phối plasma trên
bề mặt cathode. Nó là nổi tiếng mà thông thường
đường đua kiểu magnetron phún xạ chỉ có một trong số không
qua điểm của từ trường vuông góc với
bề mặt cực âm và sự xói mòn tối đa xảy ra lúc này
điểm. Chúng tôi đã sửa đổi hình học châm và thu được
nhiều điểm zero-crossing mà kết quả trong một rộng
phân phối plasma hơn so với các loại thiết bị thông thường.
Sự phân bố electron đặc biệt là ngay trước
mặt cathode trở nên rộng rãi bởi từ biến đổi
trường. Hơn nữa striation electron thêm xảy ra
bên cạnh các bản phân phối mật độ chính. Điều này dẫn đến sự
ion hóa mở rộng ở phía trước của bề mặt cathode và
thông lượng ion rộng hơn về phía cathode. Chúng tôi khẳng định
điều này bằng cách so sánh các cấu xói mòn của thí nghiệm
và mô phỏng. Sự phân bố từ trường biến đổi
kết quả trong huyết tương và xói mòn hồ sơ mở rộng. Các
từ trường biến đổi là hiệu quả để tăng
việc sử dụng các vật liệu cathode.