Các mô hình mạch gộp được mô phỏng và kết quả Sparameter được so sánh với các mô phỏng sóng 3D đầy đủ như hình. 4, nơi mà họ cho thấy thỏa thuận tốt lên đến 10 GHz. Đối với các chất nền nhiều pha tạp, mô hình mạch gộp cho các trường hợp nặng nề pha tạp được đề xuất trong hình. 5, nơi silicon nhiều pha tạp có thể xấp xỉ với một nút duy nhất do độ dẫn cao của nó, và các yếu tố giải thích của nó cũng được tóm tắt trong Bảng II. Các mô hình mạch gộp được mô phỏng và kết quả S-tham số được so sánh với các mô phỏng sóng 3D đầy đủ như hình. 6, nơi họ thấy thỏa thuận tốt lên đến 10 GHz. Hơn nữa, một gộp tương đương
mô hình cho nhiều hơn hai lớp phân tầng (nói năm hoặc sáu) có thể thu được của tầng mô hình thích hợp theo mức doping.
đang được dịch, vui lòng đợi..
