To illustrate the use of a one-half

To illustrate the use of a one-half fraction, consider the plasma
etch experiment described in Example 13.8. Suppose we
decide to use a 24−1 design with I = ABCD to investigate the four factors gap (A), pressure (B), C2F6 flow rate (C), and power
setting (D). Set up this design and analyze it using only the data
from the full factorial that corresponds to the runs in the fraction.

Kết quả (Việt) 1:

Để minh họa cho việc sử dụng một phần nhỏ trong một nửa, hãy xem xét plasma
etch thử nghiệm được mô tả trong ví dụ 13.8. Giả sử chúng tôi
quyết định sử dụng một thiết kế 24−1 với I = ABCD để điều tra các bốn yếu tố khoảng cách (A), áp lực (B), tốc độ dòng chảy C2F6 (C), và quyền lực
cài đặt (D). Thiết lập này thiết kế và phân tích nó bằng cách sử dụng chỉ những dữ liệu
từ giai thừa đầy đủ tương ứng để chạy trong các phần.

Kết quả (Việt) 2:

Để minh họa cho việc sử dụng một một nửa phần nhỏ, hãy xem xét plasma
thí nghiệm được mô tả trong etch Ví dụ 13.8. Giả sử chúng ta
quyết định sử dụng một thiết kế 24-1 với I = ABCD để điều tra khoảng cách bốn yếu tố (A), áp suất (B), tốc độ dòng chảy C2F6 (C), và quyền lực
thiết lập (D). Thiết lập thiết kế và phân tích nó chỉ sử dụng dữ liệu
từ giai thừa đầy đủ tương ứng với chạy trong phần.