Typical MEMS accelerometer is compo

Typical MEMS accelerometer is composed
of movable proof mass with plates that is
attached through a mechanical suspension
system to a reference frame. Movable
plates and fixed outer plates represent
capacitors
The deflection of proof mass is measured
using the capacitance difference. The freespace
(air) capacitances between the
movable plate and two stationary outer
plates C1 and C2 are functions of the
corresponding displacements x1 and x2

Kết quả (Việt) 1:

Gia tốc MEMS điển hình bao gồmdi chuyển khối lượng bằng chứng với tấm làgắn thông qua một hệ thống treo cơ khíHệ thống vào một khung tham khảo. Di chuyểntấm và cố định tấm bên ngoài đại diện chotụ điệnĐộ lệch của hàng loạt bằng chứng được đosử dụng sự khác biệt điện dung. Freespacecapacitances (air) giữa cácmảng di động và cố định hai bên ngoàitấm C1 và C2 là chức năng của cáctương ứng displacements x1 và x2

Kết quả (Việt) 2:

Điển hình MEMS gia tốc gồm
khối lượng bằng chứng di chuyển bằng các tấm được
gắn thông qua một hệ thống treo cơ khí
hệ thống để một hệ quy chiếu. Movable
và các loại biển ngoài cố định đại diện cho
tụ
Các lệch khối lượng bằng chứng được đo
bằng cách sử dụng sự khác biệt điện dung. Các freespace
(không khí) điện dung giữa các
tấm sản và hai văn phòng bên ngoài
tấm C1 và C2 là các hàm của
chuyển vị x1 tương ứng và x2