MGS không phải là đầy đủ tinh khiết cho các ứng dụng thiết bị microelectronic. Lý do là các tính chất điện tử của một chất bán dẫn như silic là cực kỳ nhạy cảm với nồng độ tạp chất.EGS được sản xuất từ clo hóa căn cứ MGS nhưMGS (rắn) + HCL (khí) -> silan (SiH4) (lỏng) + Triclorosilan (SiHCLj.) (chất lỏng
đang được dịch, vui lòng đợi..
