Phản ứng này xảy ra ngay cả ở nhiệt độ phòng, trong mỗi ngày. Tuy nhiên, trong quá trình bán dẫn, silicon dioxide phải trong sạch và được hình thành một cách cụ thể. Một trong những cách này là một lò nhiệt. Nó có một số tiến bộ như sau:
- Điều khiển áp suất, nhiệt độ, và hiện tại của oxy hóa.
- Kiểm soát sự phát triển của quá trình oxy hóa trong quá trình khô và ướt
đang được dịch, vui lòng đợi..