Một trong những phương pháp thực tế và phổ biến nhất tiếp xúc thực sự kết hợp kinh tế cơ khí của 1 X aligners và cuộc sống mặt nạ của các steppers. Trong cách tiếp cận này, một màng mỏng bảo vệ, được gọi là một peliclc, được đặt trên nhũ tương 1 x chrome mặt nạ bảo vệ mặt nạ và mặt nạ dài cuộc sống. Mặc dù các màng tế bào riêng của mình có thể nhận được bẩn hoặc trầy xước, nó được đặt đủ xa từ mặt nạ để vẫn ra khỏi tập trung và do đó không dự án Khuyết tật vào wafer khi ánh sáng columniated là tập trung thông qua mặt nạ lên wafer
đang được dịch, vui lòng đợi..
