Việc đẩy gần đây đối với sự nhỏ bé được minh họa bằng MEMS, mà thường được thực hiện bằng công nghệ vi mạch. NEMS được dự kiến sẽ là giai đoạn tiếp theo của quá trình tiến hóa. (Courtesy của Phòng thí nghiệm quốc gia Sandia.)
đang được dịch, vui lòng đợi..
