3. Results and discussions3.1 Disch

3. Results and discussions
3.1 Discharge diagnosis
The electrical behavior of the oxygen plasma at different
pressures is shown in Figure 1. The I-V curves presented in
the Figure 1a) have the typical glow discharge behaviour
of the I-V curves obtained when the DC source is used in
the constant current mode and the plasma current is
increased. The corresponding Power-Voltage curves are
shown in Figure 1b). As can be observed, the cathode
voltage increases monotonically as power does, without
abrupt voltage transitions characteristic of metal-tocompound
transitions in the target, as observed in a
previous work [5]. It is important to point out that the
eroded cathode ring zone always visually looked clean and
brilliant in these conditions, indicating that no target
poisoning and therefore no metal-to-compound transitions
in the plasma voltage would take place. However the inner and outer ring zones were covered by tin oxides, as
confirmed by powder x-ray diffraction of a target
fragment. As observed from the Figure 1b), when using
oxygen pressures of 1 and 10 mTorr, the cathode voltages
increases continuously from about 325 to 450 V, while
when using 100 mTorr the cathode voltage increases, but
tends to stabilize about 325-350 V. In previous work it has
been shown that Sn+4 is obtained when the cathode voltage
is below 350 V [5,6]; up to 350 V a mixture of Sn2+ and
Sn4+ is expected. In the following experiments an O2
pressure of 100 mTorr was used as top value. Higher O2
pressures were not used as the discharge needs higher
currents to ignite and arcing was observed.

Kết quả (Việt) 1:

3. kết quả và thảo luận3.1 xả chẩn đoánHành vi điện plasma oxy tại khác nhauáp lực được thể hiện trong hình 1. Các đường cong tôi-V trình bày trongcon số 1a) có ánh sáng điển hình xả hành viđường cong tôi-V thu được khi nguồn DC được sử dụng trongchế độ hiện hành liên tục và plasma hiện tại làtăng lên. Các đường cong áp lực tương ứngHiển thị trong hình 1b). Như có thể được quan sát thấy, sự để làm cực âmđiện áp tăng monotonically như quyền lực nào, mà không cóquá trình chuyển đổi điện áp đột ngột đặc trưng của các kim loại-tocompoundquá trình chuyển đổi trong mục tiêu, khi quan sát thấy trong một[5] công việc trước đây. Nó là quan trọng để chỉ ra rằng cácđể làm cực âm đã bị xói mòn vòng khu trực quan luôn luôn nhìn sạch sẽ vàrực rỡ trong những điều kiện này, chỉ ra rằng không có mục tiêungộ độc và do đó không kim loại-để-hợp chất quá trình chuyển đổitrong plasma điện áp sẽ diễn ra. Tuy nhiên các vòng bên trong và bên ngoài khu vực được bao phủ bởi thiếc oxit nhưxác nhận bởi nhiễu xạ tia x bột của một mục tiêumảnh. Khi quan sát thấy từ hình 1b), khi sử dụngoxy áp lực của 1 và 10 mTorr, điện áp để làm cực âmtăng lên liên tục từ khoảng 325 đến 450 V, trong khikhi sử dụng 100 mTorr điện áp cathode tăng, nhưngcó xu hướng để ổn định về 325-350 V. Trong công việc trước đây nó đãHiển thị rằng Sn + 4 là có được khi điện áp để làm cực âmdưới 350 V [5,6]; tối đa 350 V một hỗn hợp của Sn2 + vàSn4 + dự kiến. Trong các thí nghiệm sau một O2áp lực của 100 mTorr được sử dụng như là giá trị hàng đầu. Cao O2áp lực đã không được sử dụng như việc xả nhu cầu cao hơndòng để đốt cháy và arcing được quan sát thấy.

Kết quả (Việt) 2:

3. Kết quả và thảo luận
3.1 Xả chẩn đoán
Các hành vi điện của plasma oxy tại khác nhau
áp lực được thể hiện trong hình 1. Các đường cong IV trình bày trong
các hình 1a) có hành vi phóng điện phát sáng điển hình
của các đường cong IV thu được khi nguồn DC được sử dụng trong
chế độ hiện hành liên tục và plasma hiện nay đang
tăng lên. Các đường cong Power-áp tương ứng được
hiển thị trong hình 1b). Như có thể thấy, catot
tăng điện áp đơn điệu như sức mạnh nào, mà không cần
điện áp đột ngột chuyển tiếp đặc trưng của kim loại-tocompound
chuyển tiếp trong các mục tiêu, như quan sát thấy trong một
công việc trước đây [5]. Điều quan trọng là chỉ ra rằng
khu vực vành đai bị xói mòn cathode luôn nhìn trực quan sạch và
rực rỡ trong những điều kiện này, cho thấy rằng không có mục tiêu
độc và do đó không có kim loại-to-hợp chất chuyển
trong điện áp plasma sẽ diễn ra. Tuy nhiên các khu vành đai trong và bên ngoài được bao phủ bởi các oxit thiếc, như
xác nhận của bột x-ray nhiễu xạ của một mục tiêu
phân đoạn. Theo quan sát từ Hình 1b), khi sử dụng
áp lực oxy của 1 và 10 mTorr, điện áp cực âm
liên tục tăng từ khoảng 325-450 V, trong khi
khi sử dụng 100 mTorr catot điện áp tăng lên, nhưng
có xu hướng ổn định về 325-350 V. Trong công việc trước đó nó đã
được chứng minh rằng Sn + 4 thu được khi điện áp cathode
là dưới 350 V [5,6]; lên đến 350 V một hỗn hợp của SN2 + và
Sn4 + dự kiến. Trong các thí nghiệm sau một O2
áp lực của 100 mTorr đã được sử dụng như giá trị hàng đầu. O2 cao hơn
áp lực không được sử dụng như là việc xả cần cao hơn
dòng để đốt cháy và phóng điện hồ quang đã được quan sát.