we will concentrate on etch rate for silicon nitride. Perform an appropriate experiment to characterize the performance of this etching process with respect to the four process variables
chúng tôi sẽ tập trung vào etch tỷ lệ cho silic nitrua. Thực hiện thử nghiệm thích hợp để mô tả hiệu suất của quá trình khắc này đối với các biến quá trình bốn
chúng tôi sẽ tập trung vào tỷ lệ etch cho silicon nitride. Thực hiện một thí nghiệm thích hợp để mô tả hiệu suất của quá trình khắc này đối với bốn biến quá trình với