The measured motion coupling from x

The measured motion coupling from x-to-y and y-to-x are −40.7 dB (0.92%) and −42.5 dB (0.75%) respectively, which are remarkably low. Thus, the MEMS nanopositioner can be, effectively, considered as two single-input singleoutput (SISO) systems. A second-order model was fitted to the measured frequency response of each axis using the frequencydomain subspace algorithm [29]. The following are the two identified transfer functions of the SISO systems.

Kết quả (Việt) 1:

Đo chuyển động khớp nối từ x tới y và y đến x là −40.7 dB (0.92%) và −42.5 dB (0,75%), mà là khá thấp. Vì vậy, MEMS nanopositioner có thể được, có hiệu quả, coi như là hai đĩa đơn đầu vào singleoutput (SISO) hệ thống. Một mô hình thứ hai để được trang bị để đáp ứng đo được tần số của mỗi trục sử dụng thuật toán con frequencydomain [29]. Dưới đây là hai chức năng xác định chuyển hệ thống SISO.

Kết quả (Việt) 2:

Các đo khớp nối chuyển động từ x-to-y và y-to-x là -40,7 dB (0,92%) và -42,5 dB (0,75%) tương ứng, mà là khá thấp. Như vậy, MEMS nanopositioner có thể được, có hiệu quả, coi như là hai hệ thống singleoutput đơn đầu vào (SISO). Một mô hình bậc hai được trang bị để đáp ứng tần số đo được của mỗi trục sử dụng các thuật toán không gian con frequencydomain [29]. Sau đây là hai chức năng chuyển giao được xác định của hệ thống SISO.