Phim nanocomposite au / SiOx đã được chuẩn bị trên thep loại (111) tinh thể silicon (c-Si) và chất nền thạch anh (20 mm * 20 mm trong kích thước) bằng cách sử dụng RF magnetron phản ứng hệ thống đồng phún xạ (Edwards Auto 306 với FL400 của nó Phòng) .
đang được dịch, vui lòng đợi..
