The capacitive based MEMSaccelerome

The capacitive based MEMS
accelerometers measure changes of the capacitance between a proof mass and a fixed
conductive electrode separated by a narrow gap [8]. The schematic of a capacitive
MEMS accelerometer is shown in Figure 1(b). The papers [1-8] gave the details of the
working principle and so not discussed here.

Kết quả (Việt) 1:

Dựa trên MEMS capacitivegia tốc đo các thay đổi trong điện dung giữa một khối lượng bằng chứng và một cố địnhđiện cực dẫn điện, ngăn cách bởi một khoảng cách hẹp [8]. Sơ đồ một điện dungGia tốc MEMS được thể hiện trong hình 1(b). Các giấy tờ [1-8] đã cung cấp các chi tiết của cácnguyên lý làm việc và do đó không được thảo luận ở đây.

Kết quả (Việt) 2:

Các điện dung dựa trên MEMS
thay đổi biện pháp gia tốc của điện dung giữa một loạt bằng chứng và một cố định
điện cực dẫn điện cách nhau bởi một khoảng cách hẹp [8]. Các sơ đồ của một dung
MEMS gia tốc được thể hiện trong hình 1 (b). Các giấy tờ [1-8] cho các chi tiết của
nguyên tắc làm việc và do đó không được thảo luận ở đây.