The high resist film thickness homo

The high resist film thickness homogeneity as well as the short coating times
make spincoating the most-applied coating technique at least in microelectronics. The fact
that the coated resist already lost a significant amount of its solvent after spin coating, no
time-consuming delays have to be kept before further process steps (handling, softbake).

Kết quả (Việt) 1:

Cao chống lại tính đồng nhất độ dày của bộ phim cũng như thời gian ngắn sơnthực hiện spincoating kỹ thuật áp dụng hầu hết các lớp phủ ít vi điện tử. Thực tếrằng các tráng chống lại đã mất một lượng đáng kể của dung môi của nó sau khi sơn quay, không cótốn thời gian chậm trễ có thể được giữ trước khi tiếp tục quá trình bước (xử lý, softbake).

Kết quả (Việt) 2:

Các cao chống lại độ dày đồng nhất cũng như những lần phủ ngắn
làm spincoating kỹ thuật sơn nhất áp dụng ít nhất trong vi điện tử. Thực tế
rằng tráng cưỡng lại đã bị mất một số lượng đáng kể các dung môi sau khi phủ spin, không có
sự chậm trễ thời gian phải được lưu giữ trước khi bước tiếp quá trình (xử lý, softbake).