1. Giới thiệu
chuyển kim loại nitride là một màng bảo vệ có khả năng cải thiện các tính chất của các vật liệu chất nền. Nhóm 4 TiN kim loại chuyển tiếp đã được thương mại uti- lized cắt và dụng cụ cơ khí. Ngoài ra, ZrN đã thu hút nhiều sự chú ý cho ăn mòn tốt của nó tầm kháng chống, điện trở suất thấp, [1,2] tính chất cơ học tốt hơn, [3,4] và màu vàng hấp dẫn hơn phim ảnh TiN. [5] So với nitrit kim loại thông thường, nitrit tam nguyên như TiAlN, TiCrN, và TiZrN có lợi thế rất lớn trong kinh microhard- và kháng oxy hóa do các hiệu ứng tạo hợp kim tương ứng của họ. Phim TiZrN cho thấy một độ cứng tăng cường so với TiN nhị phân và phim ZrN đọng dưới điều kiện tương đương. [6] Độ cứng này tăng thể hiện bởi bộ phim TiZrN là do một cơ chế giải pháp tăng cường vững chắc. Hơn nữa, nghiên cứu ban đầu về tác động của zirconi cấy lớp phủ TiN đã cho thấy cải thiện khả năng chống mài mòn. [7,8] Làm thế nào- bao giờ hết, bộ phim lớp duy nhất vẫn là không đủ cứng để thiết thực cal sử dụng. Ngoài ra, màng mỏng nhiều lớp làm bằng các giai đoạn khác nhau gần đây đã thu hút rất nhiều sự chú ý vì các đời công cụ có thể được tăng lên đáng kể, so với người đồng cấp đơn lớp của nó. [9,10]
đang được dịch, vui lòng đợi..
