Fig. 10.10. Central deflection of f

Fig. 10.10. Central deflection of flat and
corrugated diaphragms of the same sizes
under the in-plate tensile stresses.
makes these sensors candidates for direct digitization (see Section 5.5 of Chapter
5). Whereas a piezoresistive diaphragm should be designed to maximize stress at its
edges, the capacitive diaphragm utilizes a displacement of its central portion. These
diaphragms can be protected against overpressure by including mechanical stops close
to either side of the diaphragm (for a differential pressure sensor). Unfortunately, in
the piezoresistive diaphragms, the same protection is not quite effective because of
small operational displacements. As a result, the piezoresistive sensors typically have
burst pressures of about 10 times the full-scale rating, whereas capacitive sensors
with overpressure stops can handle 1000 times the rated full-scale pressure. This is
especially important for the low-pressure applications, where relatively high-pressure
pulses can occur.
While designing a capacitive pressure sensor, for good linearity it is important to
maintain flatness of the diaphragm. Traditionally, these sensors are linear only over
the displacements which are much less than their thickness. One way to improve the
linear range is to make a diaphragm with groves and corrugations by applying micromachining
technology. Planar diaphragms are generally considered more sensitive
than the corrugated diaphragms with the same size and thickness. However, in the
presence of the in-plane tensile stresses, the corrugations serve to release some of the
stresses, thus resulting in better sensitivity and linearity

Kết quả (Việt) 1:

Hình 10.10. Trung tâm lệch phẳng vàsóng diaphragms của các kích thước tương tựdưới áp lực độ bền kéo trong mảng.làm cho các ứng cử viên cảm biến số hóa trực tiếp (xem phần 5.5 chương5). trong khi đó một màng piezoresistive nên được thiết kế để tối đa hóa sự căng thẳng tại của nócạnh, cơ hoành capacitive sử dụng một trọng lượng rẽ nước của nó phần trung tâm. NhữngDiaphragms có thể được bảo vệ chống lại overpressure bằng cách bao gồm các điểm dừng cơ khí đóngcả hai bên của cơ hoành (đối với một bộ cảm biến áp suất vi sai). Thật không may, trongpiezoresistive diaphragms, bảo vệ tương tự không phải là khá hiệu quả vìnhỏ hoạt động displacements. Kết quả là, các cảm biến piezoresistive thường cónổ áp lực của khoảng 10 lần các đầy đủ quy mô đánh giá, trong khi điện dung cảm biếnvới overpressure dừng có thể xử lý 1000 lần xếp áp lực quy mô đầy đủ. Điều này làđặc biệt quan trọng cho các ứng dụng thấp áp, nơi tương đối cao ápxung có thể xảy ra.Trong khi thiết kế một bộ cảm biến điện dung áp lực, cho tốt linearity điều quan trọng làduy trì độ phẳng của cơ hoành. Theo truyền thống, các cảm biến là tuyến tính chỉ hơndisplacements đó là ít hơn nhiều so với độ dày của họ. Có một cách để cải thiện cáckhoảng tuyến tính là làm cho màng groves và phình bằng cách áp dụng micromachiningcông nghệ. Planar diaphragms nói chung được coi là nhạy cảm hơnhơn diaphragms sóng với cùng một kích thước và độ dày. Tuy nhiên, trong cácsự hiện diện của những căng thẳng trong mặt phẳng của độ bền kéo, phình người phục vụ để phát hành một số cáccăng thẳng, vì vậy dẫn đến sự nhạy cảm và linearity tốt hơn

Kết quả (Việt) 2:

Sung. 10.10. Võng trung tâm của căn hộ và
màng ngăn sóng của các kích thước tương tự
dưới ứng suất kéo trong tấm.
Làm cho các cảm biến cho các ứng cử viên số hóa trực tiếp (xem Phần 5.5 của Chương
5). Trong khi đó, một màng piezoresistive nên được thiết kế để tối đa hóa sự căng thẳng tại của nó
cạnh, cơ hoành dung sử dụng một chuyển của phần trung tâm của nó. Những
màng có thể được bảo vệ chống quá áp bằng cách bao gồm điểm dừng cơ khí gần
để hai bên của cơ hoành (cho một cảm biến áp lực khác biệt). Thật không may, trong
các màng ngăn piezoresistive, bảo vệ cùng không phải là khá hiệu quả vì
chuyển vị hoạt động nhỏ. Kết quả là, các cảm biến piezoresistive thường đã
vỡ áp lực khoảng 10 lần giá toàn diện, trong khi cảm biến điện dung
với các điểm dừng quá áp có thể xử lý 1000 lần áp lực toàn diện đánh giá. Đây là
đặc biệt quan trọng cho các ứng dụng áp suất thấp, nơi tương đối cao áp
xung có thể xảy ra.
Trong khi thiết kế một bộ cảm biến áp suất điện dung, cho tuyến tính tốt là rất quan trọng để
duy trì độ phẳng của cơ hoành. Theo truyền thống, các cảm biến này là tuyến tính chỉ qua
các chuyển được cho là kém hơn nhiều so với độ dày của họ. Một cách để cải thiện
phạm vi tuyến tính là làm cho một cơ hoành với những rặng và gấp nếp bằng cách áp dụng công nghệ vi
công nghệ. Màng phẳng thường được coi là nhạy cảm hơn
so với màng ngăn sóng với kích thước và độ dày tương tự. Tuy nhiên, trong
sự hiện diện của các ứng suất kéo trong mặt phẳng, các nếp gấp phục vụ để phát hành một số
căng thẳng, do đó dẫn đến sự nhạy cảm hơn và tuyến tính