A dual-axis micro-mechanical probe

A dual-axis micro-mechanical probe with an electrostatic actuator was developed. The actuator can deflect a double-cantilever
beam for the lateral force detection

Kết quả (Việt) 1:

Một thăm dò cơ khí micro kép trục với một thiết bị truyền động tĩnh điện đã được phát triển. Thiết bị truyền động có thể làm chệch hướng một đôi, cần cẩu côngxon
chùm phát hiện lực lượng bên

Kết quả (Việt) 2:

Một trục kép thăm dò vi cơ khí với một thiết bị truyền động điện đã được phát triển. Bộ truyền động có thể làm chệch hướng một đôi hẫng
dầm để phát hiện lực lượng bên