Các thủ tục để tìm chùm electron ban đầu chính xác được mô tả bởi sơ đồ trong hình
5. Các thông số khác, chẳng hạn như mật độ của các mục tiêu và các bộ lọc làm phẳng và các chi tiết
hình học sau này đã không điều tra, vì nó đã được giả định rằng các thông số kỹ thuật các tài liệu
được cung cấp bởi các nhà sản xuất là chính xác.
đang được dịch, vui lòng đợi..