A Polytec PMA-400 Planar Motion Ana

A Polytec PMA-400 Planar Motion Analyzer was used to
measure the x and y displacements of the nanopositioner. The
measurements were based on the principle of stroboscopic
video microscopy performed by in-built image analysis software
of the PMA. Actuation voltages from 0 V to 45 V
were applied to drive the x and y comb finger actuators,
and the corresponding displacements (measured by the PMA)
and sensor output voltages were recorded simultaneously.
Results are plotted in Fig. 7. The nonlinearities shown in
these plots are due to the nonlinear relationship between the
generated force and the voltage applied to the comb actuators.
With a maximum actuation voltage of 45 V, the measured
displacement is 16 μm for both x and y axes. From themeasured displacement versus sensor output plots shown in
Fig. 7(c), the mean sensitivity of the x and y sensors were
estimated from the slopes of linear best-fit curves fitted to
the data. The mean sensitivity of the x and y sensors are
approximately 2.29 μm/V and 3.42 μm/V respectively.
The power spectral density (PSD) of the sensor output
was measured by a HP35670A signal analyzer in order to
determine the sensor resolution. The noise floor for the x-axis
sensor (worst case) is -90 dBVrms/√H z. In the open-loop
actuator-sensor system this typically translates to a 1 nm
displacement resolution over a 100 Hz frequency bandwidth

Kết quả (Việt) 1:

Một phân tích chuyển động Polytec PMA-400 phẳng được sử dụng đểbiện pháp x và y displacements của nanopositioner. Cácđo lường được dựa trên các nguyên tắc của stroboscopickính hiển vi video thực hiện bằng phần mềm phân tích trong xây dựng hình ảnhcủa PMA. Điện áp càng từ 0 V-45 Vđã được áp dụng để lái xe x và y lược ngón tay thiết bị thi hành,và displacements tương ứng (đo bằng PMA)và cảm biến đầu ra điện áp được ghi nhận cùng một lúc.Kết quả âm mưu trong hình 7. Nonlinearities Hiển thị trongCác lô là do phi tuyến mối quan hệ giữa cáctạo ra lực lượng và điện áp được áp dụng cho các thiết bị truyền động lược.Với một điện áp tối đa càng của 45 V, các đotrọng lượng rẽ nước là 16 μm cho trục x và y. Từ themeasured trọng lượng rẽ nước so với cảm biến đầu ra âm mưu Hiển thị trongHình 7(c), sự nhạy cảm có nghĩa là x và y cảm biếnước tính từ các sườn dốc của đường cong tuyến tính chạy nhất phù hợp với trang bị đểcác dữ liệu. Sự nhạy cảm có nghĩa là x và y cảm biếnkhoảng 2,29 μm/V và 3.42 μm/V tương ứng.Mật độ quang phổ điện (PSD) của đầu ra cảm biếnđược đo bằng một phân tích tín hiệu HP35670A đểxác định độ phân giải cảm biến. Tầng tiếng ồn cho trục xcảm biến (trường hợp xấu nhất) là-90 dBVrms/√H z. Trong hởHệ thống thiết bị truyền động-cảm biến này thường dịch cho một 1 nmtrọng lượng rẽ nước giải quyết trên một băng thông tần số 100 Hz

Kết quả (Việt) 2:

Một Polytec PMA-400 Planar Chuyển động Analyzer được sử dụng để
đo x và chuyển vị y của nanopositioner. Các
phép đo được dựa trên nguyên tắc của hoạt nghiệm
kính hiển vi phim được thực hiện bởi trong xây dựng phần mềm phân tích hình ảnh
của PMA. Điện áp dẫn động từ 0 V đến 45 V
được áp dụng để lái xe x và y lược cơ cấu truyền động ngón tay,
và các chuyển tương ứng (đo bằng PMA)
và điện áp đầu ra cảm biến đã được ghi đồng thời.
Kết quả được vẽ trong hình. 7. Các phi tuyến được hiển thị trong
các lô là do mối quan hệ phi tuyến giữa các
lực lượng và tạo ra điện áp áp dụng cho các thiết bị truyền động lược.
Với một điện áp dẫn động tối đa 45 V, đo
dịch chuyển là 16 mm cho cả hai trục x và y. Từ chuyển themeasured so với lô đầu ra cảm biến được hiển thị trong
hình. 7 (c), độ nhạy của x có nghĩa và cảm biến y được
ước tính từ các sườn dốc của đường cong tuyến tính phù hợp nhất được trang bị cho
các dữ liệu. Các nghĩa nhạy cảm của x và cảm biến y là
khoảng 2,29 mm / V và 3,42 mm / V tương ứng.
Mật độ phổ công suất (PSD) của các cảm biến đầu
được đo bởi một phân tích tín hiệu HP35670A để
xác định độ phân giải cảm biến. Tiếng ồn sàn cho x-trục
cảm biến (trường hợp xấu nhất) là -90 dBVrms / √H z. Trong vòng hở
hệ thống truyền động-cảm biến này thường dịch là 1 nm
phân giải chuyển trên một băng thông tần số 100 Hz