Derive an expression for the angular velocity of the wafer shown in Fig. 26.30b as a function of the radius and angular velocity of the pad in chemical-mechanical polishing.
Lấy được một biểu hiện cho vận tốc góc của bánh wafer Hiển thị ở hình 26.30b như là một chức năng của bán kính và vận tốc góc của pad trong cơ khí hóa chất đánh bóng.