Most frequently, silica or modified silica are used in ellipsometry measurements. Normally, a silicon wafer is oxidized to SiO2 in order to increase the sensitivity
Thường xuyên nhất, silica hoặc sửa đổi silica được sử dụng trong phép đo ellipsometry. Thông thường, một wafer silicon bị ôxi hóa để SiO2 để tăng độ nhạy
Thường xuyên nhất, silica hoặc silica biến đổi được sử dụng trong các phép đo ellipsometry. Thông thường, một wafer silicon được oxy hóa thành SiO2 để làm tăng độ nhạy