Fig. 7. Sensitivity measurement for x and y sensors. a) Stage displacement vs. input actuation voltage. b) Sensor output voltage vs. input actuation voltage. c) Sensor characteristic curve.
Fig. 7. Sensitivity measurement for x and y sensors. a) Stage displacement vs. input actuation voltage. b) Sensor output voltage vs. input actuation voltage. c) Sensor characteristic curve.
Sung. 7. nhạy đo cho x và y cảm biến. a) Giai đoạn chuyển so với điện áp đầu vào đẩy đủ. b) điện áp đầu ra cảm biến so với điện áp đầu vào đẩy đủ. c) Cảm biến đường cong đặc trưng.