Experiments that were carried out t

Experiments that were carried out to evaluate the effectiveness of the proposed IS included the measurement of actuating displacement and resonant frequency using a MEMS motion analyzer (MMA). When the XY stage was driven to 24.835 μm in the y-direction, the displacement in the x-irection was only 1.3 μm (figure 12). The experimental decoupling ratio in the two directions was 19.1, which exceeded the minimum ratio of ten that is required by the system. Figure 13 plots the dynamic measurements: the resonant frequency of the XY stage is 8000 Hz, falling to 1460 Hz after attachment of the accelerometer (figure 21). Figure 14 presents the thermal imaging results. The red and blue triangles represent the maximum and minimum temperatures of the actuator when current output of 155 mA was applied to the actuator. The figure reveals that the temperature is highest in the middle of the actuator and that the pads are close to room temperature.Furthermore, a comparison of figures 14(a) and (b) reveals that the maximum temperature of the thermal actuator is 353 ◦C without an SU8 isolator and 408 ◦C with a SU8
isolator. Accordingly, the isolator design enables a lower driving current to achieve the same actuating displacement

Kết quả (Việt) 2:

Các thí nghiệm đã được tiến hành để đánh giá tính hiệu quả của các đề xuất IS bao gồm việc đo lường gạt chuyển và tần số cộng hưởng bằng cách sử dụng một máy phân tích chuyển động MEMS (MMA). Khi giai đoạn XY bị đẩy tới 24,835 micromet trong y-hướng, sự dịch chuyển trong x-irection chỉ 1,3 mm (hình 12). Tỷ lệ tách thử nghiệm trong hai hướng là 19,1, vượt tỷ lệ tối thiểu mười đó là yêu cầu của hệ thống. Hình 13 trình bày kết quả đo năng động: tần số cộng hưởng của giai đoạn XY là 8000 Hz, giảm tới 1.460 Hz sau khi gắn kết của gia tốc (hình 21). Hình 14 trình bày các kết quả hình ảnh nhiệt. Tam giác màu đỏ và màu xanh cho biết nhiệt độ tối đa và tối thiểu của thiết bị truyền động khi sản lượng hiện tại của 155 mA được áp dụng cho các thiết bị truyền động. Con số này cho thấy rằng nhiệt độ cao nhất ở giữa các thiết bị truyền động và các miếng đệm gần phòng temperature.Furthermore, một so sánh các con số 14 (a) và (b) cho thấy nhiệt độ tối đa của thiết bị truyền động nhiệt là 353 ◦ C mà không cần một ly SU8 và 408 ◦C với một SU8
ly. Theo đó, việc thiết kế cách ly cho phép một lái xe thấp hơn hiện tại để đạt được sự thuyên gạt cùng