TRƯỜNG HỢP NGHIÊN CỨU: SIDE DRIVE MICRO-MOTORTrong này trường hợp nghiên cứuchúng tôi phân tích một MEMs thiết bịformofasidedriveelectrostaticmicro-motor
NGHIÊN CỨU TÌNH HUỐNG: SIDE Ổ MICRO-MOTOR Trong trường hợp nghiên cứu này chúng tôi phân tích một thiết bị MEMs formofasidedriveelectrostaticmicro-động cơ