The EM simulation results show that

The EM simulation results show that the capacitance between the TSV and the wire above it (CTW) is not negligible when TSV is relatively short compared to the TSV width, i.e., when the aspect ratio (AR) is less than 5. Therefore, TSV-to-wire capacitance needs to be considered for the computation of TSV capacitance. But, the effect of metal lines on TSV-TSV coupling (Cc), i.e, the shielding effect, and on the TSV stray capacitance (Cs) can be neglected , i.e, the error is less than 5%, If AR is less than 5, and the TSV pitch (p

Kết quả (Việt) 1:

Kết quả mô phỏng EM thấy rằng điện dung giữa TSV và dây điện trên nó (CTW) không phải là không đáng kể khi TSV là tương đối ngắn so với chiều rộng TSV, ví dụ, khi tỷ lệ khía cạnh (AR) là ít hơn 5. Vì vậy, TSV dây điện dung cần phải được xem xét để tính toán của TSV điện dung. Tuy nhiên, tác dụng của kim loại đường TSV-TSV khớp nối (Cc), tức là, tác dụng che chắn, và điện dung đi lạc TSV (Cs) có thể được bỏ qua, ví dụ, lỗi là ít hơn 5%, nếu AR là ít hơn 5, và sân TSV (p