Typically in ultra-high vacuumDepos

Typically in ultra-high vacuum
Deposition rates are very low (1monolayer/second)
Very well controlled (Shuttering: 0.1s)
Grow films with good crystal structure
Often use multiple sources to grow alloy films
Deposition rate is so low that substrate temperature doesn’t need to be as high
Expensive
Sophisticated system

Kết quả (Việt) 1:

Thông thường trong siêu cao chân khôngLàm bay hơi giá là rất thấp (1monolayer/giây)Kiểm soát rất tốt (Shuttering: 0.1s)Phát triển phim có cấu trúc tinh thể tốtThường sử dụng nhiều nguồn để phát triển các hợp kim phimTỷ lệ làm bay hơi là rất thấp nhiệt độ bề mặt không phải là caoĐắt tiềnTinh tế hệ thống

Kết quả (Việt) 2:

Điển hình là trong chân không siêu cao
giá Deposition là rất thấp (1monolayer / giây)
Rất kiểm soát tốt (ván khuôn: 0.1s)
Grow phim có cấu trúc tinh thể tốt
thường sử dụng nhiều nguồn để phát triển bộ phim hợp kim
tỷ lệ lắng đọng rất thấp do đó nhiệt độ bề mặt không cần được càng cao
đắt
hệ thống tinh vi