After the invention of transistors,

After the invention of transistors, advances in epitaxial growth of silicon thin films, chemical vapor deposition, and surface etching techniques made the industrial large-scale manufacture of silicon-based integrated circuits possible (41, 42).

Kết quả (Việt) 1:

Sau khi phát minh ra transistor, tiến bộ trong sự phát triển trải silicon mỏng phim, hơi hóa chất lắng đọng và bề mặt khắc kỹ thuật có thể làm công nghiệp sản xuất quy mô lớn của silic dựa trên mạch tích hợp (41, 42).

Kết quả (Việt) 2:

Sau khi phát minh của bóng bán dẫn, những tiến bộ trong tăng trưởng epitaxy phim silicon mỏng, lắng đọng hơi hóa chất, và các kỹ thuật khắc bề mặt làm việc sản xuất công nghiệp quy mô lớn của các mạch tích hợp silicon có thể (41, 42).