Cách tiếp cận này cũng đang được sử dụng để phát triển một độ nhạy cao, nhiệt độ cao Silicon-On-cách điện (SOI) công nghệ piezoresistive cung cấp ing áp sens-, cảm biến nhiệt độ, và các mạng điện trở phản hồi và thiên vị tích hợp tất cả vào một thu nhỏ đơn 90- mil vuông chip. Công nghệ này được thiết kế cho các ứng dụng với cả nhiệt độ cao và áp suất cao. Yếu tố gage cao của nó là rất quan trọng trong các ứng dụng một tỷ lệ "tín hiệu-to-noise" lớn là điều cần thiết để đạt được ac- cao
Chương 16
432
hiệu suất họ nhánh do cha phó coi sóc, đặc biệt trên phạm vi nhiệt độ rộng như yêu cầu của các động cơ tua-bin và dầu lỗ xuống các ngành công nghiệp. Kết quả thử nghiệm mẫu cho thấy các thiết kế cảm biến đã loại bỏ thành công và / hoặc giảm thiểu nguồn lỗi trễ cơ học và nhiệt đến mức độ thách thức khả năng đo lường của hiện tại nhà nước-of-the-nghệ thuật thiết bị đo đạc. Tài liệu tham khảo và Tài nguyên 1. "piezoresistive Công nghệ và các loại áp đo lường", Honeywell, Inc. http://content.honeywell. com / cảm biến / prodinfo / áp suất / kỹ thuật / c15_101. pdf 2. "Áp lực yếu tố cảm biến chuyển đổi và Chart", Honeywell, Inc. http://content.honeywell.com/sensing/prodinfo/pressure/technical/c15_125.pdf 3. "Cảm biến áp suất Hệ thống nước và lắp đặt cân nhắc", Honeywell, Inc http://content.honeywell.com/sensing/prodinfo/pressure/technical/c15_121.pdf 4. "đè hoặc Force Sensor Chuyển mạch", Honeywell, Inc. http://content.honeywell.com/sensing/ prodinfo / lực / kỹ thuật / c15_119.pdf 5. "Bảo vệ Pressure Sensor Diaphragm Từ Vỡ Do Để Water Hammer", Honeywell, Inc.http: //content.honeywell.com/sensing/prodinfo/pressure/tech- nical / c15_120. pdf
đang được dịch, vui lòng đợi..