Hình ảnh quang học được giảm đến 1 X khi tiếp xúc. Wafer phải được liên tục di chuyển đến vị trí tiếp theo sau khi tiếp xúc mỗi cho đến khi toàn bộ wafer tiếp xúc. Đời của mặt nạ là rất dài kể từ khi không có tiếp xúc thân thể được thực hiện, nhưng thông lượng has been giảm đáng kể để cho phép cho các phong trào wafer kế tiếp.
đang được dịch, vui lòng đợi..
