Refer to the figure above and consi

Refer to the figure above and consider the case where a wafer is placed on the
x-axis as shown. Along this axis there is no velocity in the x-direction. The y-component of the velocity has two sources: rotation of the table and the rotation of the carrier. Considering the table movement only, we can express the velocity distribution as

Kết quả (Việt) 1:

Tham khảo hình ở trên và xem xét các trường hợp mà một wafer được đặt trên cácx-Axis như được hiển thị. Dọc theo trục này không có không có vận tốc trong x-hướng. Phần y vận tốc có hai nguồn: xoay vòng bảng và vòng quay của chiếc tàu sân bay. Xem xét các phong trào bảng chỉ, chúng tôi có thể thể hiện sự phân bố vận tốc là

Kết quả (Việt) 2:

Hãy tham khảo những con số trên và xem xét các trường hợp một wafer được đặt trên
trục x như hình vẽ. Dọc theo trục này không có tốc độ truyền theo trục x. Các thành phần y của vận tốc có hai nguồn: tự quay của bảng và vòng quay của hãng. Xem xét sự chuyển động bàn duy nhất, chúng ta có thể thể hiện sự phân bố vận tốc như