The first method is to design amagn

The first method is to design a
magnetron with full erosion target, i.e., a target without a center, in which is not sputtered. The second is to control
the sputtering region dynamically on the target surface
during discharge using an appropriate magnetic skill. The
first method resulted in the realization of magnetron
sputter sources, for instance, toroidal, rectangular
magnetron [6] and magnetic null discharge sputter [7].
However, some of these methods are somewhat
complicated structurally. The second method, if it can be
realized, will be very convenient and effective for full
target erosion but, there has been nearly no report on this.
This study addresses the latter method.

Kết quả (Việt) 1:

Phương pháp đầu tiên là để thiết kế mộttừ trường với mục tiêu đầy đủ xói mòn, tức là, là một mục tiêu mà không có một trung tâm, trong đó không phải sputtered. Thứ hai là để kiểm soátvùng thổi động trên bề mặt của mục tiêutrong xả bằng cách sử dụng một kỹ năng từ thích hợp. Cácphương pháp đầu tiên đã dẫn đến việc thực hiện của từ trườngsputter nguồn, ví dụ, hình xuyến, hình chữ nhậttừ trường [6] và từ trường vô xả sputter [7].Tuy nhiên, một số trong những phương pháp này là phần nàocấu trúc phức tạp. Phương pháp thứ hai, nếu nó có thểnhận ra, sẽ có rất thuận lợi và hiệu quả cho đầy đủnhắm mục tiêu xói mòn, nhưng đã có gần như là không có báo cáo về điều này.Nghiên cứu này địa chỉ các phương pháp sau này.

Kết quả (Việt) 2:

Phương pháp đầu tiên là thiết kế một
magnetron với mục tiêu đầy xói mòn, ví dụ, một mục tiêu mà không có một trung tâm, trong đó không được phún xạ. Thứ hai là để kiểm soát
các khu vực phún động trên bề mặt mục tiêu
trong thời gian xả sử dụng một kỹ năng từ thích hợp. Các
phương pháp đầu tiên dẫn đến việc thực hiện các magnetron
nguồn phún xạ, ví dụ, hình xuyến, hình chữ nhật
magnetron [6] và null từ xả phún xạ [7].
Tuy nhiên, một số trong những phương pháp này hơi
phức tạp về mặt cấu trúc. Phương pháp thứ hai, nếu nó có thể được
thực hiện, sẽ rất thuận tiện và hiệu quả cho toàn
xói mòn mục tiêu nhưng, đã có gần như không có báo cáo về vấn đề này.
Nghiên cứu này đề cập đến các phương pháp sau.