The doublecantilever beam is deflec

The doublecantilever beam is deflected laterally by frictional force Ff , whereas it is rigid against vertical deflection due to normal force. It rotates around the axis of the torsion beam due to normal force, so normal force Fncan be obtained from the torsion angle of the torsion beam. Thus, the probe can provide simultaneous detection of the frictional and normal forces independentlyBoth the lateral and vertical displacements are simultaneously detected using the optical lever method. At the probe end, a sloped pattern (optical lever pattern) is formed [16]. The pattern is irradiated with a laser, and the light reflected from the sloped pattern does not enter the photodiode (PD), whereas the light reflected from the probe surface enters the PD. A dark region forms at the light spot on the PD. The lateral deflection signal is obtained from the lateral movement of the dark region, and the vertical displacement signal is obtained from the vertical movement of the laser spot. These signals are converted into the displacements by calibration using step-structure, which can provide the relationship between the PD signal and displacement with an error of less than 1% [15]. Thus, FFM signals obtained by a micro-mechanical probe can be quantified simply

Kết quả (Việt) 1:

Các chùm tia doublecantilever chệch hướng ngang bằng vũ lực ma sát Ff, trong khi nó là cứng nhắc đối với các độ lệch dọc do lực lượng bình thường. Nó quay quanh trục của các chùm tia xoắn do lực lượng bình thường, vì vậy bình thường lực lượng Fncan được lấy từ góc xoắn của các chùm tia xoắn. Do đó, Các thăm dò có thể cung cấp đồng thời phát hiện ma sát và bình thường lực lượng independentlyBoth displacements bên và dọc đồng thời được phát hiện bằng phương pháp quang học đòn bẩy. Vào giữa thăm dò, một mô hình nghiêng (đòn bẩy quang mô hình) là thành lập [16]. Các mô hình được chiếu xạ với một laser, và ánh sáng phản ánh từ các mô hình dốc không tham dự photodiode (PD), trong khi ánh sáng phản ánh từ bề mặt thăm dò vào PD. Một hình thức tối vùng tại vị trí ánh sáng trên PD. Các tín hiệu bên lệch thu được từ chuyển động bên trong vùng tối, và tín hiệu trọng lượng rẽ nước dọc thu được từ sự chuyển động theo chiều dọc của vị trí laser. Các tín hiệu được chuyển đổi thành các displacements bởi hiệu chuẩn bằng cách sử dụng bước-cấu trúc, mà có thể cung cấp mối quan hệ giữa PD tín hiệu và di chuyển với một lỗi nhỏ hơn 1% [15]. Vì vậy, tín hiệu FFM thu được bởi một thăm dò vi cơ khí có thể được định lượng chỉ đơn giản là

Kết quả (Việt) 2:

Chùm doublecantilever bị lệch sang hai bên bởi lực ma sát FF, trong khi nó là cứng nhắc đối với độ lệch theo chiều dọc do lực lượng bình thường. Nó quay quanh trục của chùm tia xoắn do lực lượng bình thường, vì vậy lực lượng bình thường Fncan được lấy từ các góc xoắn của chùm tia xoắn. Do đó, đầu dò có thể cung cấp phát hiện đồng thời của lực ma sát và bình thường independentlyBoth các chuyển vị ngang và dọc đồng thời phát hiện bằng cách sử dụng phương pháp đòn bẩy quang. Vào cuối thăm dò, một mô hình dốc (mô hình đòn bẩy quang học) được hình thành [16]. Mô hình là chiếu xạ bằng tia laser, và ánh sáng phản xạ từ các mô hình dốc không nhập vào photodiode (PD), trong khi ánh sáng phản xạ từ bề mặt thăm dò đi vào PD. Một hình thức khu vực tối ở vị trí ánh sáng trên PD. Tín hiệu lệch bên là thu được từ phong trào bên của khu vực tối, và tín hiệu chuyển dọc được lấy từ các chuyển động thẳng đứng của điểm laser. Những tín hiệu này được chuyển đổi thành các chuyển vị của hiệu chuẩn sử dụng bước cấu trúc, có thể cung cấp mối quan hệ giữa các tín hiệu PD và chuyển với sai số nhỏ hơn 1% [15]. Như vậy, tín hiệu FFM thu được từ tàu thăm dò vi cơ khí có thể được định lượng đơn giản