9,5 MEMS CÔNG NGHỆ
Hiện đã có sự quan tâm ngày càng tăng nhanh trong microeleciromechaniialsystems (MEMS) kể từ cuối l9S0s. khi một micromotor quay làm từ polysilieon đã được chế tạo trên một sản xuất chip silicon Tlie silicon M EMS thông qua nhiều tin * phát triển cao công nghệ của các mạch silicon tích hợp. Cách tiếp cận này đã cho phép MEMS sản phẩm
đang được dịch, vui lòng đợi..
