An engineer is interested in invest

An engineer is interested in investigating the relationship between the RF power setting
and the etch rate for this tool. The objective of an experiment like this is to model the relationship
between etch rate and RF power, and to specify the power setting that will give a
desired target etch rate. She is interested in a particular gas (C2F6) and gap (0.80 cm) and
wants to test four levels of RF power: 160, 180, 200, and 220 W. She decided to test five
wafers at each level of RF power.
This is an example of a single-factor experiment with a  4 levels of the factor and
n  5 replicates. The 20 runs should be made in random order. A very efficient way to generate
the run order is to enter the 20 runs in a spreadsheet (Excel), generate a column of
random numbers using the RAND ( ) function, and then sort by that column.

Kết quả (Việt) 1:

Một kỹ sư được quan tâm trong việc điều tra mối quan hệ giữa các thiết lập quyền lực RFvà mức etch cho công cụ này. Mục tiêu của một thử nghiệm như thế này là để mô hình mối quan hệgiữa etch tỷ lệ và RF quyền lực, và để xác định lực đẩy được thiết lập mà sẽ cung cấp cho mộtmục tiêu mong muốn etch tỷ lệ. Cô là quan tâm đến một cụ thể khí (C2F6) và khoảng cách (0,80 cm) vàmuốn thử nghiệm bốn cấp độ năng lượng RF: 160, 180, 200 và 220 W. Cô quyết định thử nghiệm nămtấm ở mỗi cấp của RF quyền lực.Đây là một ví dụ về một thử nghiệm đơn-yếu tố với 4 cấp độ của các yếu tố vàn 5 sao chép. Chạy 20 nên được thực hiện trong thứ tự ngẫu nhiên. Một cách rất hiệu quả để tạo raThứ tự chạy là để nhập chạy 20 trong một bảng tính (Excel), tạo ra một cộtsố ngẫu nhiên bằng cách sử dụng các RAND () chức năng, và sau đó sắp xếp theo cột đó.

Kết quả (Việt) 2:

Một kỹ sư quan tâm trong việc điều tra các mối quan hệ giữa các thiết lập quyền lực RF
và tỷ lệ etch cho công cụ này. Mục tiêu của một thí nghiệm như thế này là để mô hình mối quan hệ
giữa tỷ lệ etch và năng lượng RF, và chỉ định thiết lập sức mạnh đó sẽ cung cấp một
tỷ lệ etch mục tiêu mong muốn. Cô là quan tâm đến một khí cụ thể (C2F6) và khoảng cách (0,80 cm) và
muốn thử nghiệm bốn mức năng lượng RF: 160, 180, 200, và 220 W. Cô quyết định thử nghiệm năm
tấm tại mỗi mức năng lượng RF.
Điều này là một ví dụ về một thí nghiệm đơn yếu tố với một? 4 cấp độ của các yếu tố và
n? 5 lần nhắc lại. 20 chạy nên được thực hiện theo thứ tự ngẫu nhiên. Một cách rất hiệu quả để tạo ra
thứ tự chạy là nhập 20 chạy trong một bảng tính (Excel), tạo ra một cột
số ngẫu nhiên bằng cách sử dụng hàm RAND (), và sau đó sắp xếp theo cột đó.