Trong phương pháp phún xạ có hai phương tiện hoạt động: dc (diode và triode) và ac
(tần số vô tuyến), mà còn hoạt động trong hai cấu hình: magnetron dc (cân bằng và
không cân bằng) và magnetron ac (cân bằng và không cân bằng).
đang được dịch, vui lòng đợi..
