Though the sputter yield increases

Though the sputter yield increases with the temperature, but it should not go beyond a tolerable limit which may cause problems of out gassing. Hence it is necessary to cool the target during sputtering

Kết quả (Việt) 1:

Mặc dù sản lượng sputter với nhiệt độ tăng, nhưng nó không nên vượt qua giới hạn tolerable mà có thể gây ra vấn đề của ra gassing. Do đó nó là cần thiết để làm mát các mục tiêu trong quá trình tạo

Kết quả (Việt) 2:

Mặc dù phún xạ năng suất tăng lên theo nhiệt độ, nhưng nó không nên đi xa hơn một giới hạn chấp nhận được mà có thể gây ra vấn đề của hiện thoát khí. Vì vậy nó là cần thiết để làm mát các mục tiêu trong quá thổi