C. Frequency Response MeasurementTh

C. Frequency Response Measurement
The x and y axes frequency response functions (FRFs)
of the MEMS nanopositioner were obtained using the signal
analyzer. Displacements of both the axes were biased to their
mid-range which were at 8 μm. FRFs were recorded from the
inputs applied to the cascaded plant ux , uy in Fig. 8 to the
measured displacement dx , dy respectively.
Fig. 9 plots the experimentally determined open-loop FRFs
for both the x and y axes. The first resonance frequency of
the x axis is located at 860 Hz. For the y axis, the resonant
peak appears at 850 Hz. These measured resonances are close
to the ConventorWare simulated values. The dynamic range
of the x and y resonant peaks are respectively 36.6 dB and
37.5 dB.

Kết quả (Việt) 1:

C. tần số phản ứng đo lườngX và y rìu tần số phản ứng chức năng (FRFs)của MEMS nanopositioner được thu được bằng cách sử dụng tín hiệuphân tích. Displacements của cả hai các trục được thiên vị để củatầm trung được lúc 8 μm. FRFs đã được ghi nhận từ cácđầu vào áp dụng để ghép tầng thực vật ux, uy trong hình 8 để cácđo trọng lượng rẽ nước dx, dy tương ứng.Hình 9 lô FRFs hở được xác định bằng thực nghiệmcho trục x và y. Tần số cộng hưởng đầu tiên củatrục x nằm ở 860 Hz. Cho các trục y, các cộng hưởngcao điểm sẽ xuất hiện ở 850 Hz. Các cộng hưởng đo được đóngCác giá trị ConventorWare mô phỏng. Phạm vi năng độngx và y cộng hưởng ngọn núi là tương ứng 36.6 dB và37,5 dB.

Kết quả (Việt) 2:

C. Đáp ứng tần số đo
x và hàm đáp ứng tần số trục y (FRFs)
của MEMS nanopositioner đã thu được bằng cách sử dụng tín hiệu
phân tích. Chuyển vị của cả hai trục được thiên vị cho họ
tầm trung mà là ở mức 8 mm. FRFs được ghi nhận từ các
yếu tố đầu vào áp dụng cho các nhà máy ux cascaded, uy trong hình. 8 đến
dx thuyên đo, dy tương ứng.
Fig. 9 lô các FRFs vòng hở nghiệm xác định
cho cả hai trục x và y. Các tần số cộng hưởng đầu tiên của
trục x nằm tại 860 Hz. Đối với trục y, các cộng hưởng
đỉnh cao xuất hiện ở 850 Hz. Những cộng hưởng được đo là rất gần
với các giá trị ConventorWare mô phỏng. Phạm vi hoạt động
của x và đỉnh cộng hưởng y tương ứng là 36,6 dB và
37,5 dB.