Bước 3: Cổng thành oxit sân khấu. Một cổng oxide mỏng được trồng trên wafer. Cổng oxit chỉ có hàng chục nguyên tử oxit silic dày được tạo ra trong quá trình chế tạo với công nghệ hiện tại. Cổng oxit là chất cách điện giữa các cửa khẩu của bóng bán dẫn và các kênh của nó. Cổng oxit đề cập đến chữ "O" trong "MOS" viết tắt của kim loại-OxideSemiconductor.
Bước 4: Cổng hình sân khấu. Poly (tức là poly-silicon) được lắng đọng trên các tấm wafer. Poly được lắng đọng trên các oxit cửa là cửa của các bóng bán dẫn thường được gọi là cổng poly. Cổng nhiều sẽ nghiêng lên khi nó kéo dài trong oxit lĩnh vực. Các oxit cửa trong khu vực hoạt động mà không được bao phủ bởi các cửa nhiều sẽ được khắc đi để hình thành nguồn và cống của bóng bán dẫn.
đang được dịch, vui lòng đợi..
