Hybrid nanomechanical transducer sy

Hybrid nanomechanical transducer system on a chip. a, Scanning electron microscopy image (false colours) of the hybrid on-chip system
consisting of a doubly clamped, high-stress Si3N4 nanomechanical beam (blue) coupled via the near-field to a silica microdisk resonator (red). Both the
resonator and the pads holding the beam rest on silicon pedestals (green). b, Magnified image of the proximity area. c, Optical micrograph of a tapered fibre
coupled to the hybrid system. d, Finite-element simulation of the electromagnetic field distribution of the fundamental optical mode confined in the microdisk
resonator. The nanomechanical beam is coupled to the evanescent near-field of the optical mode. The colour code represents the electrical field intensity
|E| 2. e, Room-temperature Brownian motion of a nanomechanical beam with a fundamental resonance frequency of 2.88 MHz and meff ¼ 9 pg. Fitting the
mode gives a mechanical quality factor of QM ¼ 4.3 × 105. The left vertical axis is calibrated in frequency noise units S nn[ V] and the right vertical axis in
displacement density units Sxx[ V]. Inset: finite-element simulation of the fundamental out-of-plane mode of the beam.

Kết quả (Việt) 1:

Lai nanomechanical bộ biến hệ thống trên một phiến tinh thể. a, hình ảnh kính hiển vi điện tử quét (màu sắc sai) của hệ thống trên chip hybridbao gồm một gấp đôi kẹp, căng thẳng cao Si3N4 nanomechanical chùm (màu xanh) cùng thông qua gần lĩnh vực với một cộng hưởng microdisk silica (màu đỏ). Cả hai cáccộng hưởng và miếng đang nắm giữ các chùm tia phần còn lại trên silic bệ (màu xanh lá cây). b, Magnified hình ảnh của khu vực gần. c, quang micrograph của một sợi giảm dầncùng với hệ thống hybrid. d, phần tử hữu hạn mô phỏng của phân phối điện từ trường của chế độ quang học cơ bản bị giới hạn trong microdiskcộng hưởng. Các chùm tia nanomechanical được kết hợp để tiêu tan lần gần-lĩnh vực chế độ quang học. Mã màu đại diện cho cường độ điện trường| E| 2. e, nhiệt độ phòng về chuyển động của một chùm tia nanomechanical with a tần số cộng hưởng cơ bản của 2,88 MHz và meff ¼ 9 daây phù hợp cácchế độ cung cấp cho một yếu tố cơ học chất lượng của QM ¼ 4.3 × 105. Trục dọc bên trái được kiểm định ở tần số tiếng ồn đơn vị S nn [V] và trục thẳng đứng ngay trongtrọng lượng rẽ nước mật độ đơn vị Sxx [V]. Inset: phần tử hữu hạn mô phỏng của các chế độ ra máy bay cơ bản của các chùm tia.

Kết quả (Việt) 2:

Lai hệ thống nano dò trên một chip. một, quét hình ảnh hiển vi điện tử (màu sắc sai) của hệ thống hybrid trên chip
bao gồm một kép kẹp, cao-căng thẳng Si3N4 chùm có kích thước nano (màu xanh) cùng thông qua near-field để cộng hưởng silica microdisk (màu đỏ). Cả
cộng hưởng và các miếng đệm giữ phần còn lại chùm trên bệ silicon (màu xanh lá cây). b, phóng đại hình ảnh của các khu vực lân cận. c, ảnh chụp hiển vi quang học của một sợi nhọn
cùng với hệ thống hybrid. d, mô phỏng phần tử hữu hạn của sự phân bố trường điện từ của các chế độ quang học cơ bản giới hạn trong microdisk
cộng hưởng. Các tia nano là cùng với các phù du near-field của chế độ quang học. Các mã màu đại diện cho các lĩnh vực điện cường độ
| E | 2. e, Phòng nhiệt độ chuyển động Brown của một chùm có kích thước nano với một tần số cộng hưởng cơ bản của 2,88 MHz và meff ¼ 9 tr. Lắp các
chế độ cho một yếu tố chất lượng cơ học của QM ¼ 4,3 × 105. Các trục dọc bên trái được hiệu chuẩn theo đơn vị tần số tiếng ồn S nn [V] và trục tung bên phải trong
các đơn vị mật độ chuyển SXX [V]. Inset: mô phỏng phần tử hữu hạn của các out-of-máy bay chế độ cơ bản của dầm.